近日，半导体行业国际团体SEMI发布数据称，2021年1-3月半导体制造设备的全球销售额同比增长51%，达到235亿美元。就各国的半导体销售情况来看，中国在1-3月的半导体设备销售额为59亿美元（折合约377亿元人民币），全球排名第2位，仅次于韩国的73亿美元。随着半导体存储器的行情复苏，韩国和中国的大型半导体厂商的设备投资变得活跃。

中银证券杨绍辉研报指出，参考ASML单价，估计全球光刻机市场规模达到130多亿美元，同比增长20%以上，且2016-2020年全球光刻机市场规模年均复合增长23%。根据媒体调查显示，当前许多国产半导体装备公司订单爆满，产品交货期普遍延长。半导体行业加快国产替代进程让这些公司迎来了真正的产业化大机遇。

据财联社主题库显示，相关上市公司中：

万业企业子公司凯世通已成为国内离子注入机领域的领军企业，集成电路离子注入机产品已完成研发并形成产品，产品线类型有12英寸、4至6英寸。

中微公司主要产品有电容性等离子体刻蚀设备，电感性等离子体刻蚀设备，MOCVD设备，VOC设备。